Proveedores y fabricantes de discos de alúmina para obleas semiconductoras personalizadas de tecnología avanzada.

Proveedores y fabricantes de discos de alúmina para obleas semiconductoras personalizadas de tecnología avanzada.

Descripción del Producto

Nuestra alta pureza Porta-obleas de cerámica (Al₂O₃ ≥99,5%) Se someten a un proceso de sinterización densa y rectificado de precisión. Presentan una planitud controlada dentro de 0,02–0,05 mm y un acabado superficial similar a un espejo, lo que garantiza un contacto uniforme con la oblea, una sujeción estable por vacío o electrostática y un espesor de película delgada uniforme en toda la oblea. Capaces de soportar temperaturas superiores a 1600 °C, estos soportes ofrecen una excelente resistencia química y al plasma, y ​​generan una mínima cantidad de partículas; resisten la deformación y la contaminación incluso después de repetidos ciclos térmicos en cámaras de grabado, deposición, difusión y limpieza. La gama de productos cubre todos los tamaños de oblea estándar de 2 a 12 pulgadas, con características personalizables, como matrices de orificios de vacío, pines de alineación y perfiles escalonados, disponibles según los planos de diseño específicos.

Características del producto

1. Material de alta pureza

Utiliza cerámica de alúmina de alta pureza (99,5 %-99,8 %), lo que previene eficazmente la contaminación de las obleas por lixiviación de iones metálicos y cumple con los estándares de limpieza de los procesos de semiconductores.

2. Rendimiento excepcional a altas temperaturas

Adecuado para uso prolongado a temperaturas superiores a 1600 °C; presenta un bajo coeficiente de dilatación térmica y una excelente resistencia al choque térmico, lo que garantiza que no se produzcan grietas ni deformaciones durante los ciclos térmicos repetidos.

3. Precisión de mecanizado ultra alta

Logra una planitud y un paralelismo a nivel micrométrico (μm), lo que garantiza un calentamiento uniforme y un posicionamiento preciso de la oblea sobre el soporte, mejorando así la consistencia del proceso.

4. Excelente estabilidad química

Resistente a la corrosión y oxidación por ácidos y álcalis; inerte a la mayoría de los gases de proceso y recubrimientos metálicos, lo que garantiza una larga vida útil.

5. Aislamiento superior y resistencia al desgaste.

Ofrece una alta resistencia de aislamiento y rigidez dieléctrica, combinadas con una alta dureza, resistencia al desgaste y resistencia mecánica, lo que lo hace muy duradero y resistente a la rotura.

6. Excelente calidad de superficie

Rectificado y pulido con precisión para lograr una baja rugosidad superficial (Ra < 0,2 μm); libre de desprendimiento de partículas y porosidad, lo que evita arañazos en la oblea.

Parámetros técnicos clave

Especificaciones y modelo

1. Tamaños de obleas compatibles: 2", 4", 6", 8", 12" (personalizable)
2. Paso/ancho de ranura: se personaliza en función del grosor de la oblea y los requisitos del proceso; los pasos comunes incluyen 2,38 mm, 3,18 mm, 4,76 mm, etc.
3. Tipos estructurales: fondo plano, ranurado, con pasadores de alineación, hueco (peso reducido), bote multioblea
4. Color: natural/blanco estándar; acabados arenados o pulidos disponibles

Escenarios de aplicación típicos

1. Fabricación de semiconductores: manipulación y transporte de obleas dentro de hornos de difusión, oxidación y recocido;

2. Deposición de película delgada: soportes de obleas para procesos CVD, PECVD, ALD y PVD;

3. LED / Semiconductores compuestos: portadores de proceso de alta temperatura para sustratos de zafiro, SiC y obleas epitaxiales de GaN;

4. MEMS y sensores: Procesos de empaquetado, unión y sinterización a nivel de oblea;

5. Energía fotovoltaica y cerámica electrónica: Sinterización de células solares y componentes electrónicos.

Resumen de las ventajas del producto

Sistema de personalización y servicio

1. Ofrecemos soluciones adaptadas a sus equipos de proceso (por ejemplo, TEL, Kokusai, Thermco, tubos de hornos domésticos, etc.):
2. Personalización: fabricación basada en los planos del cliente y creación rápida de prototipos;
3. Mejoras de materiales: las opciones incluyen alúmina de alta pureza (99,8 %), alúmina microcristalina y alúmina reforzada con zirconia (ZTA);
4. Control de calidad: producción en sala limpia durante todo el proceso, con inspección individual de la planitud, las dimensiones y la apariencia antes del envío;
5. Suministro fiable: líneas de producción consolidadas que garantizan la uniformidad de los lotes y plazos de entrega más cortos.

Solicitud de cotización

1. ¿Cuál es la pureza de la alúmina? ¿Es del 99,5% o del 99,8%? ¿Puede proporcionar un informe de análisis del material?

La pureza de nuestro producto fotográfico es del 99,5%. Podemos proporcionarle un informe de prueba de materiales; si lo desea, póngase en contacto con nosotros. cindy@w7ceramicspartsltd.com.

2. ¿Qué niveles de planitud y paralelismo se pueden alcanzar? ¿Afectará esto a la uniformidad del calentamiento de la oblea?

Podemos lograr un grado de alta precisión y planitud.≤2–3 μm,paralelismo≤2 μm.

3. ¿Cuál es la tolerancia dimensional?

Es±0,02 mm.

4. ¿Cuál es la vida útil normal?

La vida útil de nuestro producto es de 1 a 3 años.

5. ¿Qué tan estable es el suministro?

Nuestra capacidad de producción mensual es de 1000 unidades.